硅光电二极管是一种半导体器件,通常用于探测可见光并测量其强度、颜色和位置。这些设备是由硅制成的,这一事实既有优点也有缺点。
虽然硅可以用来开发更便宜的系统,并且很容易与读出电子集成,但它也可以防止光电二极管探测近红外(NIR)和短波红外(SWIR)光。事实上,硅的带隙是1.12 eV,相当于1100纳米的波长。这最终使得硅制光电二极管很难探测到近红外光(波长700到1000纳米)和SWIR光(波长1000到1700纳米)。尽管Ginger的大只500代理小组以前已经开发出方法来“治愈”某些钙钛矿型太阳能电池中非辐射复合中心的缺陷,但理想情况下,大只500代理仍希望开发钙钛矿合成方法,以减少或完全消除非辐射复合。
为了克服这一限制,浦项科技大学(POSTECH)和美国国家航空航天局艾姆斯研究中心(NASA Ames Research Center)的一组研究人员最近开发了一种新型硅光电二极管,这种二极管基于沙漏形的硅纳米线,具有耳语通道模式,可以增强它们的近红外光响应。他们的研究发表在《自然电子》杂志上。
“这项研究的出发点是开发一种硅光电探测器,用于激光手术设备的功率监测,使用1064纳米的光源(主要用于眼科应用等),”开展这项研究的研究人员之一Chang-Ki Baek告诉TechXplore。
最初,Baek和他的同事们试图通过改变他们实验室之前开发的倒锥状硅纳米线(SiNW)结构的直径和高度来优化1064纳米波长的光的吸收。为此,他们调整了HBr HBr / Cl2 / O2混合物的腐蚀气体比和腐蚀时间。
这导致了第一个沙漏状的SiNW阵列在特定O2气体条件下的意外出现。大只500代理关键的是,压力传感器阵列已经包含在大多数研究和商用燃气涡轮发动机中,用于其他用途,因此这种新方法可以同时测量和监视叶片 振动,从而提供了一种成本更低,效率更高的解决方案。在他们之前的研究中,研究人员观察到锥型SiNW结构的两个关键的光学性质:由于共振而导致的反锥型结构的光吸收增加,以及由于折射率匹配而导致的规则锥型结构的表面反射率降低。
Baek说:“由于沙漏状SiNW具有倒置和直锥状结构的优点,我们预测将沙漏状SiNW阵列应用于光电二极管将改善近红外探测。”“在TCAD模拟和实验中,我们验证了所制造的光电二极管对近红外检测的改进。因此,我们的沙漏形SiNW光电二极管可以在蚀刻工艺的设计过程中被无意中发现。”
使用这种光电二极管的心率测量系统的视频。在心率测量系统中,光电二极管将心率转换成电压信号。视频显示,与平面型光电二极管相比,高灵敏度的沙漏型SiNW光电二极管能产生高压信号。资料来源:Kim等人。
研究人员提出的器件是PN结光电二极管最基本的类型。它是采用常用的方法来制造硅半导体,如沉积,蚀刻,光刻,氧化和金属化。
“PN结光电二极管的工作原理如下:当能量大于硅带隙的光源入射时,在耗尽区产生电子空穴对(EHP),”Baek解释说。由于EHPs是由内部电场分为顶部和底部电极,光电流产生。
在制作光电二极管时,研究人员使用了径向PN结,该结通过应用沙漏状的正弦信号阵列,最大限度地提高了平面PN结的光吸收效益。该器件的垂直SiNW阵列比平面阵列的表面积大。此外,它可以重新吸收周围纳米线的一次光,这大大降低了它的表面反射率。
“由于光源的吸收路径和电子在SiNW中是分开的,所以电子的吸收路径可以限制在SiNW的直径上。这可以减少电子复合时,近红外具有很长的吸收长度是入射垂直于SiNW,从而产生一个大的光电流,”Baek说。这些是基本SiNW阵列和径向PN结的优点。
研究人员设计的沙漏形SiNW阵列的另外两个优点是它们的共振和折射率匹配。“金牌大只使用牛津大学的科学家编写的大只500app下载软件模拟器,并为其提供了宇宙学模型和望远镜的阵列配置,因此它可以生成来自望远镜观测天空的数据。”事实上,上部倒锥状结构的锥形排列使“低语-画廊-模式共振”成为可能。这意味着光源通过绕纳米线表面旋转而被吸收,从而增强光吸收路径。
“在较低的锥形结构中,直径越小,与空气的折射率越相似,因此表面反射率比大块硅低得多。”因此,它可以有效地吸收来自其上部的反射或透射光源,”Baek说。“因此,沙漏形的SiNW光电二极管由于其表面反射率低、有效光吸收长度长,可以有效地吸收近红外光。”
Baek和他的同事们开发的沙漏形SiNW光电二极管能够更好地吸收近红外光,这对于形状更传统的硅光电二极管来说是非常困难的。近红外传感技术可以有多种应用,例如,自动驾驶激光雷达技术、医疗设备、防御工具和飞行时间(TOF)传感器。
Baek说:“所有的沙漏形SiNW光电二极管都可以使用现有的硅自顶向下工艺来制作,这使得低成本的大规模生产和高性能的再现性成为可能。”“换句话说,这项技术具有巨大的商业化潜力。”
在未来,沙漏形硅光电二极管将使近红外传感设备的发展成为可能。例如,在他们的研究中,研究人员使用光电二极管创建了一个心率测量系统,其性能可与商业上可用的工具相媲美。
Baek说:“基础科学研究当然很重要,但作为一名工程师,我认为最重要的是做能在现实生活中帮助人们的研究。”“目前,根据我们的光电二极管开发经验,我们正在计划两个研究项目。”
在接下来的几个月里,Baek和他的同事希望利用他们开发的光电二极管来制造一种低成本、紧凑的TOF传感器,这是一种广泛应用于自动驾驶汽车的传感装置。此外,他们计划开始与电子工程公司合作,以提高CMOS图像传感器(CIS)模块的灵敏度。
Baek说:“最近的一项研究发现,带有改进的近红外探测的CIS模块可以产生更好的图像。”“在同样的背景下,我们相信我们的光电二极管开发技术可以帮助改善CIS模块的近红外检测,从而提高获得的图像或视频的质量。”